Системы автоматизации производства и их интеграция. Представление данных об изделии и обмен этими данными. Часть 1242. Прикладной модуль. Должность в организации
Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки