Название на английском:
GOST R 71334-2024
Название на русском:
ГОСТ Р 71334-2024
Описание на русском:
Структуры эпитаксиальные. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев кремния в структурах типа кремний на сапфире на основе инфракрасной интерференции