Стандарты Беларуси PDF
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства - Метод определения коэффициентов линейного теплового расширения самонесущих материалов для микроэлектромеханических систем. Оригинальный стандарт BS EN 62047-11-2013 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Статус: Действующий
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства - метод испытания на усталость при изгибе тонкопленочных материалов с использованием резонансной вибрации структур МЭМС. Оригинальный стандарт BS EN 62047-12-2011 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Статус: Действующий
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства - методы испытаний на изгиб и сдвиг для измерения прочности сцепления структур MEMS. Оригинальный стандарт BS EN 62047-13-2012 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Статус: Действующий
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Метод измерения предела формования металлических пленочных материалов. Оригинальный стандарт BS EN 62047-14-2012 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Статус: Действующий
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Метод испытания прочности сцепления между полидиметилсилоксаном (PDMS) и стеклом. Оригинальный стандарт BS EN 62047-15-2015 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Статус: Действующий
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства - методы испытаний для определения остаточных напряжений в пленках МЭМС. Методы измерения кривизны пластины и отклонения консольной балки. Оригинальный стандарт BS EN 62047-16-2015 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Статус: Действующий