СТБ PDF
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства - методы испытаний на изгиб и сдвиг для измерения прочности сцепления структур MEMS. Оригинальный стандарт BS EN 62047-13-2012 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Статус: Действующий
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Метод измерения предела формования металлических пленочных материалов. Оригинальный стандарт BS EN 62047-14-2012 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Статус: Действующий
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Метод испытания прочности сцепления между полидиметилсилоксаном (PDMS) и стеклом. Оригинальный стандарт BS EN 62047-15-2015 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Статус: Действующий
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства - методы испытаний для определения остаточных напряжений в пленках МЭМС. Методы измерения кривизны пластины и отклонения консольной балки. Оригинальный стандарт BS EN 62047-16-2015 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Статус: Действующий
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства - метод испытания на выпуклость для измерения механических свойств тонких пленок. Оригинальный стандарт BS EN 62047-17-2015 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Статус: Действующий
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Методы испытания на изгиб тонкопленочных материалов. Оригинальный стандарт BS EN 62047-18-2013 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Статус: Действующий